昭和电工强化高纯度三氯化硼产能
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2016-02-16 14:11:38
中化新网
昭和电工2月4日宣布,将提高高纯度三氯化硼(BCl3)的产能。该公司决定扩建川崎事务所的设备,计划使新设备从2016年3月开始投入使用。这样,该公司高纯度BCl3的产能将达到原来的1.5倍。
高纯度BCl3是在液晶面板及硅半导体制造工艺中用于蚀刻铝布线的特殊气体。由于近年来相关厂商纷纷向使用铝布线的有机EL面板及低温多晶硅液晶面板投资,预计今后将产生稳定的需求,因此昭和电工决定强化设备。
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三氯化硼
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