中科院大连化物所、大连华海制氢设备有限公司共同研发的金属钯复合膜氢气纯化装置日前完成了200m3/h规模工业化示范。该技术彻底解决了多晶硅生产循环氢气中痕量和超痕量杂质难以去除的难题。

　　该技术是大连化物所在国内外率先实现产业化的专利技术，可应用于我国几十家多晶硅企业，对于推动电子信息、半导体、LED照明和光伏发电等战略性新兴产业发展具有重要意义。

　　据了解，在多晶硅生产过程中，原料带进的各种超痕量金属杂质（ppb级）会在多晶硅上沉积，对产品质量产生很大影响，而传统变压吸附和深冷技术难以对这些痕量和超痕量杂质进一步脱除。金属钯复合膜则可以对这些杂质进行有效拦截，使得各种杂质含量降低百倍以上，从而大大提高多晶硅产品纯度和质量。

　　现场示范结果还表明，通过对循环氢气进行纯化，可使多晶硅质量均达到电子级标准。对于循环氢气中含量有时会突然增大的甲烷或者氮气，该纯化装置可以不断将其从体系中去除，使大循环体系的氢气质量得到明显改善。采用其纯化后的氢气生产多晶硅，产品中金属杂质含量相对稳定，表明该纯化器可以为多晶硅稳定生产发挥保障作用。