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三甲基硅烷

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中文名称：
三甲基硅烷
中文别名：
三甲基硅烷
英文名称：
Trimethylsilane
英文别名：
Trimethylsilane,97%;TRIMETHYLSILANE (IN CYLINDER);trimethylsilicon;Trimethylsilyl hydride, 2-Methyl-2-silapropane;Silane, trimethyl-;Trimethylsilane 99.9%;SILICON TRIMETHYL;TRIMETHYLSILANE
CAS号：
993-07-7
EINECS号：
213-603-0
分子式：
C3H10Si
分子量：
74.2
InChI：
InChI=1/C3H10Si/c1-4(2)3/h4H,1-3H3
分子结构：
三甲基硅烷
密度：
0,638 g/cm3
熔点：
--135,9°C
沸点：
6,7°C
闪点：
<-29°C
折射率：
1.3800 (estimate)
蒸汽压：
-
物化性质：
-
产品用途：
三甲基硅烷((CH3)3SiH)近年来作为半导体领域中的层间绝缘膜、作为成膜原料，其用途逐渐扩大。
危险品标志：
-
风险术语：
-
安全术语：
将容器保存在通风良好的地方、远离火源-禁止吸烟、如果接触眼睛，请立即用大量清水冲洗喝水并寻求医疗建议、采取预防静电放电的措施
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