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乙醇钽
中文名称：
中文别名：
五(乙氧基)钽;五乙氧化钽;乙醇钽(V), 光谱级, 99.95% (METALS BASIS);乙醇钽;乙氧基钽;乙醇钽(V);乙醇钽(V), 99+%;乙醇钽(V), OPTICAL GRADE, 99.95% (METALS BASIS)
英文名称：
tantalum(5+) ethanolate
英文别名：
ethanol,tantalum(5+)salt;TANTAL(V)-ETHOXID;TANTALUM PENTAETHOXIDE;TANTALUM(V) ETHOXIDE;TANTALUM ETHOXIDE;TANTALUM ETHYLATE;Tantalum(V) ethoxide, 99.98% metals basis;TANTALUM (V) ETHOXIDE (99.99+%-TA) SPECTRO
CAS号：
EINECS号：
228-010-2
分子式：
C10H25O5Ta
分子量：
406.25
InChI：
InChI=1/5C2H6O.Ta/c5*1-2-3;/h5*3H,2H2,1H3;
分子结构：
密度：
1.566 g/mL at 25 °C(lit.)
熔点：
-21 °C(lit.)
沸点：
155 °C0.01 mm Hg(lit.)
闪点：
87 °F
折射率：
n20/D 1.487(lit.)
蒸汽压：
-
物化性质：
-
产品用途：
乙醇钽可以用于通过化学气相沉积(CVD)来沉积制备氧化钽或者金属钽涂层；乙醇钽水解然后加热也可以生成氧化钽粉末，可以生产高纯级氧化钽。美国使用乙醇钽为前驱体，生产出了高比面积的氧化钽薄膜。这种薄膜表现出良好的光学活性，在太阳能电池、光催化剂方面都有潜在的应用。乙醇钽可以通过等离子技术，生成超细的碳化钽粉体。乙醇钽在表面涂层的主要应用是制备氮化钽或者氧化钽。因为氮化钽及氧化钽具有较高的介电性和稳定性，其主要应用在电子元件的保护层及介电层。乙醇钽可以在电路板中生成具有高熔点和微晶粒的结构的氮化钽。这种氮化层结构在电路板中，可以使铜与硅或二氧化硅接触后的扩散得到抑制。另外，也有研究指出，氮化钽能够忍受比其它阻障金属更高的温度而不会退化，因此乙醇钽为前驱体的钽和氮化钽是较优越的铜制程阻障层。
危险品标志：
风险术语：
-
安全术语：
远离火源-禁止吸烟、如果接触眼睛，请立即用大量清水冲洗喝水并寻求医疗建议、穿戴合适的防护服、戴上合适的手套、佩戴眼部/面部防护用品、如果发生事故或感到不适，请就医立即提出建议（如有可能，展示标签）
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