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双(二乙基氨基)硅烷

中文名称:
中文别名:
双(二乙氨基)二氢硅烷;双(二乙基氨基)硅烷;双(二乙氨基)硅烷;N,N,N',N'-四乙基硅烷二胺
英文名称:
双(二乙基氨基)硅烷
英文别名:
SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl;BIS(DIETHYLAMINO)SILANE;BDEAS;Bis(diethylamino) Silane Liquid;Bis(diethylaMino)silane, 97% BDEAS;Bis(diethylamino)silane, 99% (99.999%-Si) BDEAS PURATREM;BDEAS: SiH2[N(CH2CH3)2]2;bis(diethylamino)dihydrosilane
CAS号:
EINECS号:
-
分子式:
C8H22N2Si
分子量:
174.36
InChI:
-
分子结构:
双(二乙基氨基)硅烷
密度:
0.804
熔点:
--
沸点:
70°C (30mm)
闪点:
-
折射率:
-
蒸汽压:
-
物化性质:
-
产品用途:
双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作为ALD膜的前驱体材料。
危险品标志:
-
风险术语:
-
安全术语:
-
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