乙硅烷

中文名称：

乙硅烷

中文别名：

乙硅烷;二矽烷

英文名称：

disilane

英文别名：

DISILANE;DISILANE, 99.998%, ELECTRONIC GRADE;disilicoethane;Si2H6;Silicoethane;DISILANE, 99.9+%;B silane

CAS号：

EINECS号：

216-466-5

分子式：

H6Si2

分子量：

62.22

InChI：

InChI=1/H6Si2/c1-2/h1-2H3

分子结构：

密度：

0,686 g/cm³

熔点：

--132°C

沸点：

-14,5°C

闪点：

<10°C

折射率：

蒸汽压：

物化性质：

产品用途：

甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解，会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。它用于生产硅晶圆。

乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中，Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。

危险品标志：

风险术语：

空气中自燃、吸入有害、与皮肤接触有害、刺激眼睛、刺激呼吸系统、刺激皮肤、吸入可能引起过敏

安全术语：

远离火源-禁止吸烟、避免接触皮肤、如果接触眼睛，请立即用大量清水冲洗喝水并寻求医疗建议、穿戴合适的防护服、戴上合适的手套、佩戴眼部/面部防护用品

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