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二氯硅烷
中文名称：
中文别名：
三氯矽烷;二氯硅烷;电子级高纯二氯二氨硅
英文名称：
Dichlorosilane
英文别名：
dichlorosilane for high purity，electronic grade;DICHLOROSILANE, 99.9+%;DICHLOROSILANE, 25% in heptane;dichlorosilane Cl2H2Si;dichloro-silan;dichlorsilane;siliconchloridehydride;DICHLOROSILANE
CAS号：
EINECS号：
223-888-3
分子式：
Cl2H2Si
分子量：
101.01
InChI：
InChI=1/Cl2Si/c1-3-2
分子结构：
密度：
1,22 g/cm3
熔点：
-−122 °C(lit.)
沸点：
8.3 °C(lit.)
闪点：
-37°C
折射率：
-
蒸汽压：
1254 mm Hg ( 20 °C)
物化性质：
无色。易燃。有毒腐蚀性气体，具有刺激性臭味。熔点-122℃。沸点8.2℃。气体相对密度(空气=1)4.599；液体相对密度d4}-122>。1.42。临界温度176.3℃。蒸气压力(20℃，绝对压)0.15 Mpa。比容积(20℃，1.0133×105Pa)239 mI/g。在空气中爆炸极限1.3％～98％。与水发生剧烈反应。在湿空气中水解，生成盐酸雾。有强腐蚀性。
产品用途：
用于半导体制造中，尤其是外延法工艺作为硅源。
危险品标志：
风险术语：
-
安全术语：
如果接触眼睛，请立即用大量清水冲洗喝水并寻求医疗建议、穿戴合适的防护服、戴上合适的手套、佩戴眼部/面部防护用品、如果发生事故或感到不适，请就医立即提出建议（如有可能，展示标签）
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