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乙硅烷
中文名称：
中文别名：
乙硅烷;二矽烷
英文名称：
disilane
英文别名：
DISILANE;DISILANE, 99.998%, ELECTRONIC GRADE;disilicoethane;Si2H6;Silicoethane;DISILANE, 99.9+%;B silane
CAS号：
EINECS号：
216-466-5
分子式：
H6Si2
分子量：
62.22
InChI：
InChI=1/H6Si2/c1-2/h1-2H3
分子结构：
密度：
0,686 g/cm3
熔点：
--132°C
沸点：
-14,5°C
闪点：
<10°C
折射率：
-
蒸汽压：
-
物化性质：
-
产品用途：
甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解，会沉积非晶硅。这个化学气相沉积过程与光伏器件的制造有关。它用于生产硅晶圆。
乙硅烷气体可用于控制 SiC 热分解生长石墨烯过程中，Si 蒸气的压力。 Si蒸气的压力会影响生产的石墨烯的质量。
危险品标志：
风险术语：
空气中自燃、吸入有害、与皮肤接触有害、刺激眼睛、刺激呼吸系统、刺激皮肤、吸入可能引起过敏
安全术语：
远离火源-禁止吸烟、避免接触皮肤、如果接触眼睛，请立即用大量清水冲洗喝水并寻求医疗建议、穿戴合适的防护服、戴上合适的手套、佩戴眼部/面部防护用品
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