国标编号:
22033
ＣＡＳ:
75-73-0
中文名称:
四氟甲烷
英文名称:
tetrafluoromethane；carbon tetrafluoride
别 名:
R14；四氟化碳
分子式:
CF4
分子量:
88.01
熔 点:
-183.6℃
沸 点:
密 度:
相对密度(水=1)1.61(-
蒸汽压:
溶解性:
不溶于水
稳定性:
稳定
外观与性状:
无色无臭气体
危险标记:
5(不燃气体)
用 途:
用作低温致冷剂及集成电路的等离子干 法蚀刻技术
2.对环境的影响:
